特點 

可處理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 ? 8" (? 200mm)圓片 

采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

真空安全聯鎖功能 

觸摸屏輸入

顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

可編程速度和加速度 

馬達轉速最大可達10000轉/分鐘

易拆卸雙片腔體本體和防濺環 

網絡接口 

USB接口 

選項 

? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

? 液體噴嘴 – 噴霧型,射流型 

? 熱流體線，最高80°C

? 真空或微接觸夾具 – 不同尺寸

? 可拆卸工藝腔體及防濺環

? 熱板

? 熱板接近式烘烤, 手動可調接近距離 

? 可編程接近距離熱板

? 真空泵 

? 附加HMDS熱板 

性能參數 

觸摸屏程序輸入

? 程序數: 100 

? 程序步數: 50 

? 最長單步時間: 999秒

? 單步時間分辨率: 0.1秒

旋轉馬達

? 旋轉速度: 最高 10.000 轉/分鐘* 

? 轉速分辨率: 1轉/分鐘 

? 旋轉精度: ± 2 轉/分鐘

? 加速度: 最高 50,000 轉/分鐘/秒* *和基片重量有關

熱板 

?溫度范圍: 最高 300°C

?溫度分辨率: 0.1°C

? 溫度均勻性( 100°C 時) : < ± 0.5°C 

動力需求

?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm 

設備外形(寬 x 深 x 高): 

?落地式柜體: 約 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6”x 25.6”x 52”) 

?帶水平調節 

?不銹鋼框架