FSM 413 EC 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 上海富瞻環(huán)保科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FSM 413 EC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2023/5/22 14:16:00
- 訪問(wèn)次數(shù) 641
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非甲烷總烴在線監(jiān)測(cè)儀,有機(jī)揮發(fā)物氣體監(jiān)測(cè)儀,沼氣檢測(cè)儀,大氣環(huán)境在線檢測(cè)儀,空氣質(zhì)量指數(shù)檢測(cè)儀器,大氣氣象綜合分析系統(tǒng),林業(yè)大氣環(huán)境檢測(cè)儀,交通環(huán)境大氣污染檢測(cè),惡臭工作站
產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,制藥 |
產(chǎn)品品牌:Frontier Semiconductor
產(chǎn)品型號(hào):FSM 413 EC
晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
非接觸式厚度測(cè)量,可以測(cè)量背面研磨減薄和刻蝕后的晶圓,也可測(cè)量粘附在藍(lán)膜或者其他載體上的有圖形或凸起的晶圓,可應(yīng)用于堆疊芯片和微機(jī)電系統(tǒng)。
優(yōu)勢(shì):
FSM413回波探頭傳感器使用具有的紅外(IR)干涉測(cè)量技術(shù),可以直接和測(cè)量從厚到薄的晶圓襯底厚度變化和總體厚度變化。配置單探頭系統(tǒng),可以測(cè)量一些對(duì)紅外線透明的材料,例如Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英和一些聚合物,還可以測(cè)量常規(guī)有圖形、有膠帶、凸起或者鍵合在載體上晶圓的襯底厚度。配置雙探頭系統(tǒng)時(shí),還提供晶圓整體厚度測(cè)量(包括襯底厚度和在光不能穿透的情況下的圖形高度厚度)。選配功能可以測(cè)量溝槽深度和通孔深度(包括微機(jī)電中的高深寬比的溝槽和通孔)。另外微機(jī)電應(yīng)用中薄膜厚度測(cè)量和凸塊高度測(cè)量也可以選配。
基于FSM Echoprobe紅外線干涉測(cè)量技術(shù),提供非接觸式芯片厚度和深度測(cè)量方法。
Echoprobe技術(shù)利用紅外光束探測(cè)晶圓。
Echoprobe可用于測(cè)量多晶硅、藍(lán)寶石、其它復(fù)合物半導(dǎo)體,例如GaAs, InP, GaP, GaN 等。
對(duì)晶圓圖形襯底切割面進(jìn)行直接測(cè)量。
晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
行業(yè)應(yīng)用:
主要應(yīng)用在研磨芯片厚度控制、芯片后段封裝、TSV(硅通孔技術(shù))、(MEMS)微機(jī)電系統(tǒng)、 側(cè)壁角度測(cè)量等。
針對(duì)LED行業(yè), 可用作檢測(cè)藍(lán)寶石或碳化硅片厚度及TTV
其它應(yīng)用:
· 溝槽深度測(cè)量
· 表面粗糙度測(cè)量
· 薄膜厚度測(cè)量
· 環(huán)氧厚度測(cè)量
Echoprobe™ 回波探頭技術(shù)可提供對(duì)薄晶圓(<100um)的襯底厚度或粘結(jié)結(jié)構(gòu)上的薄襯底進(jìn)行直接和測(cè)量。