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AS8 噴涂膠機(jī)

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噴涂膠機(jī)涂膠顯影

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品介紹:  

AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機(jī),AS8涂膠機(jī)可以滿足實(shí)驗(yàn)室和試產(chǎn)環(huán)境下常用工藝的需要,對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結(jié)構(gòu)加工,都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機(jī)也可用于生產(chǎn)環(huán)境。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢:

跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術(shù)

頂部邊緣覆蓋的保形涂膠,且能避免溝槽中堆膠。

噴霧設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復(fù)性的優(yōu)化

基板尺寸最大直徑為200 mm,方形基板最大邊長為 6"

最多可有2個(gè)獨(dú)立的噴霧噴膠系統(tǒng),以避免交叉污染

帶有MMC控制器軟件的觸摸屏

全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程



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