ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、紅外CCD

Nav-Cam+、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、ICD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

可基于能量色散 X 射線光譜 (EDS) 進行實時定量 元素面分布。包含點分析、線掃描、面分布及元素定量。

-4000 V 至 +50 V

高達 2600 Pa (H2O) 或 4000 Pa (N2)

5軸馬達優中心樣品臺，110 x 110 mm2，105° 傾斜范圍。最大樣品重量：未傾斜位置，5 kg。

標準多樣品 SEM 支架可單獨直接安裝在載物臺上，可容納多達 18 個標準樣品托 (? 12 mm)，無需工具即可安裝樣品

340 mm 內寬，12 個接口，最多可接三個 EDS 檢測器（兩個呈 180°對稱），并具有與共面 EDS共面的EBSD接口。

軟件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷臺

軟件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 熱臺

軟件控制的 1,100°C 高真空熱臺

軟件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 熱臺

集成氣體注入系統：用于下列材料的電子束誘導沉積，最多支持2種氣體（其他配件可能限制可用的注氣系統 (GIS) 數量）：

納米機械手

液氮致冷臺

電子探針/多探針臺

Thermo Scientific Maps 軟件可進行大面積圖像自動采集和拼接，并可與其它設備聯用

Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應用程序編程界面

圖形發生軟件

TopoMaps 軟件用于圖像著色及分析和 3D 表面重建