標準檢測器

• ETD、低真空 SED (LVD)、 ESEM SED (GSED)、紅外CCD

可選檢測器

• Thermo Scientific Nav-Cam+ 攝像機、DBS、DBS-GAD、ESEM-GAD、STEM 3+、WetSTEM、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等

ChemiSEM 技術(shù)（可選）

• 可基于能量色散 X 射線光譜 (EDS) 進行實時定量 元素面分布。包含點分析、線掃描、面分布及元素定量。

樣品臺減速（可選）

• -4,000 V 至 +50 V

低真空模式

• 高達 2,600 Pa (H2O) 或 4,000 Pa (N2)

樣品臺

• 5軸馬達優(yōu)中心樣品臺，110 x 110 mm2，105° 傾斜范圍。最大樣品重量：未傾斜位置，5 kg。

標準樣品支架

• 標準多樣品 SEM 支架可單獨安裝

• 在載物臺上，可容納多達 18 個標準樣品托 (? 12 mm)，

• 無需工具即可安裝樣品

樣品倉

• 340 mm 內(nèi)寬，12 個接口，最多可接三個 EDS 檢測器（兩個呈 180°對稱），并具有與共面 EDS共面的EBSD接口。

原位配件（可選）

• 軟件控制的 -20°C 至 +60°C Peltier 冷臺

• 軟件控制的 1,000°C 低真空/ESEM 熱臺

• 軟件控制的 1,100°C 高真空熱臺

• 軟件控制的 1,400°C 低真空/ESEM 熱臺

• 集成氣體注入系統(tǒng)：用于下列材料的電子束誘導沉積，最多支持2種氣體（其他配件可能限制可用的注氣系統(tǒng) (GIS) 數(shù)量）：

• 鉑

• 鎢

• 碳

• 納米機械手

• 液氮致冷臺

• 電子探針/多探針臺

軟件選項

• Thermo Scientific Maps 軟件可進行大面積圖像自動采集和拼接，并可與其它設備聯(lián)用

• Thermo Scientific AutoScript 4 軟件；基于 Python 的應用程序編程界面

• 圖形發(fā)生軟件

• TopoMaps 軟件用于圖像著色及分析和 3D 表面重建