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VGB3/3plus CIF手套箱专用等离子清洗机

具体成交价以合同协议为准

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

一、CIF手套箱专用等离子清洗机 产品简介

CIF推出VGB-P系列手套箱专用等离子清洗设备,优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便,性能稳定,实用性强,容易维护。  

二、CIF手套箱专用等离子清洗机 产品特点

1. 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。

2. PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

3. 真空仓体,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

4. 自动匹配器,功率无极可调。

5. 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。

6. HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

7. 弧形等离子激发板,等离子激发能力更强。

8. 分体式设计,便于手套箱内使用。

9. 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

三、技术参数

型号

VGB3

VGB3Plus

舱体尺寸

D178xΦ150mm

D178xΦ150mm

舱体容积

3L

3L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

激发方式

电容式

电容式

射频功率

10-300W可调

10-150W可调

气体控制

双浮子流量计(标配)

有效处理尺寸

L200xW155mm

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

AC220V 50-60Hz







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