探針臺可吸附多種規格芯片與器件,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成對半導體器件的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。主要通過連接儀器及待測物實現器件的參數提取,通過自帶的驅動及測試軟件能夠獨立實現器件的電學特性測試,為精密器件提供一個良好的系統平臺。探針臺可以搭配多種測試儀器使用,比如示波器,頻譜儀,IV等等。
通過探針接觸的方法給器件施加光電信號來測量半導體器件伏安特性(即電壓-電流特性)的儀器,在測量及選用半導體器件時有著廣泛的用途。
特點:
-可選配高溫測試環境,氣冷/液冷/水冷,降溫方式可選
-可選直筒顯微鏡,體式顯微鏡或金相顯微鏡,倍數可選:15X-100X/30X-195X/20X-400X
-載物臺可Z軸升降
-載物臺Theta可粗調360°,微調±7°
-載物臺XY移動分辨率為1um
-可選配高壓高流測試環境
-快速裝片并可任意位置鎖定功能
-穩定型顯微鏡橋架,移動分辨率為2um,顯微鏡氣動升降
可選配件:
-射頻測試探頭及電纜
-低漏電電流/電容測試,漏電精度:10pA/100fA/20fA
-激光修復
-探針卡/封裝/PCB 板夾具
-有源探頭
-高壓高流模塊
-高清數字相機,200萬/500萬/1200萬像素 ,幀率 60fps ,帶拍照/錄像/測量功能等功能
-Hot Chuck
-載物臺水平調節機構
兼容儀器:
-各種型號示波器
-各品牌半導體參數分析儀,博測,是德,泰克,概倫等
-各種品牌的網絡分析儀,是德,羅德施瓦茨, 思儀等
-各種品牌型號的源表
也可使用自己搭建的半導體參數分析儀。
可根據具體需求定制,大部分需求都可滿足,歡迎聯系!