RIE-10NR 日本SAMCO RIE等离子蚀刻设备

参考价	￥10000000-￥20000000/件

具体成交价以合同协议为准

公司名称 似空科学仪器（上海）有限公司
品牌其他品牌
型号RIE-10NR
所在地上海市
厂商性质代理商
更新时间2023/8/11 13:38:30
访问次数 1190

产品标签

等离子刻蚀机 8寸晶圆蚀刻刻蚀系统

在线交流发送询价进入商铺同类产品

联系方式：杨经理13917975482 查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!

索取相关资料

公司介绍 主营产品

似空科学仪器（上海）有限公司是一家仪器设备的经销商。我们致力于为中国制造业和研发机构提供高精度、符合人体工学设计的仪器设备。我们也梦想有朝一日，能够充分掌握市场需求，深刻理解仪器设备的技术原理，聚集一批有激情、有理想、有技术的人，为中国的制造业升级以及中国科研走向世界，提供自有知识产权的先进仪器设备！
仪器设备发展的是探测手段和传感器不对被测目标产生任何干扰，企业管理的是一切以市场为核心，不以自我的意愿抗拒市场的趋势，代替客户的喜好，于是我们取名“似空”，希望以忘我的精神服务客户。

展开

失效分析，芯片开封，表面观测，金相研磨，光学及视频显微镜，超声波检测，X射线检测，激光微纳加工等

详细信息 在线询价

晶圆尺寸	8英寸	尺寸	500 mm（宽）x 920 mm（深）x 1501 mm（高）
反应室尺寸	φ340mm

反应离子刻蚀机

SAMCO RIE-10NR



简介： RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能、全自动反应离子刻蚀系统，能够满足非腐蚀性气体化学最KE刻的工艺要求。计算机化触摸屏为工艺配方编程和存储提供了用户友好的界面。该系统可以实现精确的侧壁轮廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。凭借其圆滑、紧凑的设计， RIE-10NR只需要很小的洁净室空间。应用: 硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、砷化镓、钼、铂、聚酰亚胺等材料的腐蚀失效分析中的选择性层腐蚀。

主要功能和优点：

1、加工至?220 mm（?3“x 5，?4”x 3，?8”x 1）。

2、高选择性各向异性蚀刻满足严格的工艺要求全自动“一键式”操作。

3、自动压力控制，允许独立于气流干泵和系统布局的过程压力精确控制，便于维护。

4、于Windows的用户界面，丰富的配方和内置的数据记录功能，是一个可靠和持久的系统，全球安装了400多个系统。

主要参数规格：
基板	220 mm（?3“x 5，?4”x 3，?8”x 1）
负载	开放式
上下电极	?240 mm
射频功率	300瓦@13.56兆赫，自动匹配（500瓦为选项）可切换射频供电电极（阳极/阴极模式）为选项
气体管道	内部2条MFC控制的气体管道（最多6条）
泵	干泵（500升/分钟）
操作系统	触摸屏操作（可选择基于Windows的用户界面）、配方管理
端点检测	光学发射光谱（OES）作为一种选择
尺寸	500 mm（宽）x 920 mm（深）x 1501 mm（高）