Avantgarde 室溫真空探針臺能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個(gè)室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

PSV系列室溫真空探針臺是一款專門針對室溫真空電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進(jìn)行重復(fù)非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量和RF測量。

特點(diǎn)

• 真空腔極限真空度能夠達(dá)到5E-4 mbar，通過真空泵連接KF25法蘭抽真空。

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進(jìn)行測試。探針臂可在X-Y-Z-R范圍內(nèi)進(jìn)行四維調(diào)節(jié)，能滿足4英寸范圍內(nèi)全部位置的扎針測試。

• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。

• 直流探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，使用4200實(shí)測漏電流小于100fA @1V。

• 設(shè)計(jì)的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞。

• 可選微波探針臂，頻率可達(dá)到110GHz。