| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 20萬-35萬 | 應用領域 | 綜合 |
探針式輪廓儀（臺階儀）Alpha-Step D500 /D600采用新型光學反射探測系統測量高度，同時應用電磁力控制探針壓力，能有效實現超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。
探針式輪廓儀（臺階儀）應用范圍
2D/3D 表面形貌掃描
納米至1200μm臺階高度測量
粗糙度和波紋度測量
樣品翹曲和曲率半徑測量
2D薄膜應力測量
技術特點
優秀的重復性和再現性
接觸式測量，適用于多種材料
測量軟材料的微力控制
梯形失真校正可消除側視視圖造成的失真
弧形校正補償探針的弧形運動
| 型號 | D500 | D600 | |
| 臺階高度 | 5nm~1200μm | ||
| 分辨率 | 0.38Å | ||
| 重復性 | 5Å（1μm臺階） | ||
| 載力范圍 | 0.03mg~15mg | ||
| 視頻 | 5MP高分辨彩色相機 | ||
| 樣品臺 | 140mm手動XY軸，Z軸自動 | 200m三軸自動 | |
| 單次掃描 | 30mm | 55mm | |
| 圖像拼接 | 80mm | 200mm | |
| 梯形失真校正 | 消除側視視圖造成的失真 | ||
| 弧形校正 | 消除探針的弧形運動引起的誤差 | ||
| 掃描模式 | 2D | 2D/3D | |
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