Mini CPS微型真空探针台功能特点
介电/压电/铁电/热释电/光电材料的电学性能表征
机械弹性设计，避免探针损坏薄膜样品
可在真空、气氛环境下测量
小巧精密，外观精致
1000X显微放大，有利于实时观察样品状态
Mini CPS微型真空探针台技术规格
| 温度范围： | -160℃～450℃ | 控温精度： | ±0.5℃ |
| 升温速率： | 0～10℃/min | 制冷方式： | 电声制冷或液氮制冷 |
| 样 品 台： | 40×40 mm | 样品尺寸： | φ ＜22 mm |
| 温度测量： | PT100 | 探 针 臂： | 4个 |
| 降温时间： | 30min降温至-160℃ | X 轴： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
| 观 察 窗： | φ26 mm | Y 轴： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
| 位移分辨率： | 10μm | Z 轴： | 行程±5mm，精度±0.01mm |
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