TLRH系列 谱量光电 精密型基础测试探针台
参考价 | ¥40000-¥60000/件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 南京谱量光电科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型号TLRH系列
- 所在地南京市
- 厂商性质生产厂家
- 更新时间2024/6/26 16:38:37
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样品台尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 | 样品台行程 | XY轴110mm,Z轴10mm,360°粗调,±5°精调 |
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样品台位移精度 | 3μm | 背电极测试功能 | 可引出背电极 |
样品台真空吸附 | 进口无油真空泵,7L/min | 样品固定方式 | 环形真空吸附 |
样品台定制化 | 可定制(尺寸/材质/镀金/背光) | 探针座行程 | XYZ三轴13mm |
探针座调节精度 | 3μm | 探针座固定方式 | 可调磁力吸附(可选配真空吸附,螺丝固定) |
接口形式 | 香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口 | 成像显微镜 | 双目体式显微镜(可升级金相显微镜) |
放大倍数 | ~200倍(最大可升级到~1000倍) | CCD | 2000W高清彩色相机 |
显微镜位移行程 | XY行程25mm*25mm,分辨率3μm | 探针座数量 | 标配 3 个 |
产品介绍
TLRH系列 谱量光电 精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要,而特定设计的一款高精密高稳定探针台,其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制,已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。
技术优势
.模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;
. 最大可用于12寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3um,样品台精密四维调节;
. 兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试;
. 满足1um以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
. 加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;
. 配显微镜二维精密调节功能,且可选配多种行程及驱动方式。
模块介绍
精密型基础测试探针台图片
详细模块配置及参数说明
选型表
相关配件
多种精度,多种夹具类型探针座
同轴线缆,三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
应用领域
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套谱量光电 精密型基础测试探针台,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。