大平臺晶圓線路板檢查測量顯微鏡測量與讀數

1.調節目鏡進行視場調整，使顯微鏡十字線最清晰即可；轉動調焦手輪，從目鏡中觀測，使被測工件成像清晰；可調整被測工件，使被測工件的一個橫截面和顯微鏡移動方向平行。

2.轉動旋轉輪可以調節十字豎線對準被測工件的起點，在標尺上讀取毫米的整數部分，在旋轉輪上讀取毫米以下的小數部分。兩次讀數之和是此點的讀數A。

3.沿著同方向轉動旋轉輪，使十字豎線恰好停止于被測工件的終點讀數A′，記下此時所測量工件的長度。

大平臺晶圓線路板檢查測量顯微鏡產品參數

1.主體規格

◆X坐標行程:    310（mm）

◆Y坐標行程：  310（mm）

◆Z坐標行程:    50（mm）
◆操控方式：XY手動同軸低手位粗微調可切換（帶快速移動）

Z軸手脈電動操控（快上-快下-中檔-慢檔切換）
◆反射照明光源：

明暗場反射照明器，帶明暗場照明切換裝置；

可變視場光闌與孔徑光闌，均可調中心，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽。

可根據客戶產品不同而選擇DIC微分干涉功能。

2.目視系統
◆物鏡放大倍數：五孔旋轉器，標配5X、10X、20X、50X明暗場半復消色差金相物鏡（可選配100X）

標配手動鼻輪（可選配電動鼻輪）

◆目鏡放大倍數：10X( 單、雙目同，PL10X25mm)
◆總放大倍數：  50X-500X（包括畸變在內的）


3.影像系統
◆攝像機接口：C型接口，可調焦

◆CCD：630萬高清數字相機（自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測）
◆綜合影像最大放大倍數：1000X以上

使用注意事項:

1.在松開每個鎖緊螺絲時，必須用手托住相應部分，以免其墜落和受沖擊。

2.注意防止回程誤差，由于螺絲和螺母不可能密合，螺旋轉動方向改變時，它的接觸狀態也改變，兩次讀數將不同，由此產生的誤差叫回程誤差。為防止此誤差，測量時應向同一方向轉動，使十字線和目標對準，若移動十字線超過了目標，就要多退回一些，重新再向同一方向轉動。