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KP 單點開爾文探針系統

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昱臣半導體技術(香港)有限公司是專業的半導體及微電子領域儀器設備供應商,昱臣半導體技術(香港)有限公司所代理的儀器設備廣泛用于高校、研究所、半導體企業。

昱臣半導體技術(香港)有限公司目前代理的主要產品包括:

- 霍爾效應測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(Die Bonder),劃片機(Scriber),球焊機/鍥焊機(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(ALD),等離子增強原子層沉積設備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(Sputter),電子束蒸發鍍膜機(E-beam Evaporator),熱蒸發鍍膜機(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(PLD) ;

- 低壓化學氣相沉積系統(LPCVD),等離子增強化學氣相沉積系統(PECVD),快速熱化學氣相沉積系統(RTCVD);

- 反應離子刻蝕機(RIE),ICP刻蝕機,等離子體刻蝕機;

- 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導磁體(HTS Magnet),快速場循環核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統,快速退火爐,PECVD,刻蝕機

產地類別 進口 應用領域 電子,航天,綜合

單點開爾文探針系統配置

這是一款可以被大多數客戶所接收的掃描開爾文探針系統,它是在ASKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置,其規格如下:

□    2毫米,50微米探針;

□    功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);

□    針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內;

□    表面勢和樣品形貌3維地圖;

□    探針掃描或樣品掃描選配;

□    彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置;

□    參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌);

□    備用的針尖放大器;




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