Thermo Scientific™ EscaLab QXi X射線光電子能譜儀是ESCALAB 系列產品。作為可擴展的多技術表面分析平臺，ESCALAB QXi有著靈活性和完備的專業配置選項。匯聚前沿技術，打造出高效便捷的軟件系統，高性能的硬件配置，高效的生產力。強大的Thermo ScientificTM AvantageTM 軟件系統集系統控制、設備狀態實時監控與調節、數據采集、數據處理、報告生成等多功能于一身，操作便捷，快速高效。

EscaLab QXi X射線光電子能譜儀分析性能：

● 表面元素定性、定量分析

能量分析器設計和雙晶微聚焦單色化X射線源結合，實現了能量分辨率

● 快速高分辨平行成像

化學成像: 空間分辨率優于1um

回溯成譜: 回溯區域優于6um

● 無需背底修正探測器

電子倍增器和電阻陽極探測器的雙探測器設計，可實現高性能的XPS采譜和高空間分辨的XPS成像的需求。

空間連續的電阻陽極探測器創新技術，使得XPI成像分辨率達1um，同時所得數據無探測器背底特征，無需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像結果。

● 微聚焦單色源

分析尺寸在20μm～900μm之間連續可調

靈敏度和能量分辨率

提供不少于20個靶材工作點，確保儀器終身使用過程中陽極靶無需更換

● 自動化高效離子剖析源

新型Ar離子團簇與傳統單粒子離子源相結合，用于各類材料的深度剖析研究

● 高精確度角分辨XPS

軟件控制分析位置和角度，確保數據的精確性和重復性

全套的ARXPS數據處理工具，可對納米尺度的多層結構器件進行層厚計算

● 一鍵式荷電補償

配有雙束電荷中和系統，可以根據實際樣品的需要獨立控制開啟。

適用于所有不導電樣品及粗糙表面的荷電中和

● 強大的Avantage分析軟件

全數字化儀器控制

系統軟件可視化操作

全套XPS標準數據圖庫以及化合物結構鑒定數據庫

自定義數據采集到報告生成模式

操作簡便：

● 高度自動化

分析區域和角度分辨可選

自動化氣體調節和真空控制

● 隨時校準

能量標尺和儀器功函數的校準

離子槍定位和離子束聚焦

● 鼠標點擊式樣品導航

實時顯示分析位置

高照明強度、強度可調

設計靈活：

● ISS、ARXPS與REELS為標準配置

● 多功能進樣室為標準配置

● UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可選

● 可選的樣品預處理附件，包括：

樣品制備臺、晶體清潔器、樣品刮片器

樣品加熱/冷卻裝置

濺射清潔離子槍

蒸發器

高壓反應室