壓電·三軸并聯 Free3D.ZTxTy.150

? 3自由度并聯設計，空間中ZTT移動

• 由納米級驅動單元實現的三自由度并聯結構，有效降低累積誤差；

• 多軸姿態同時調節、結構穩定、剛性高；

• 平動行程：Z  ±5 mm；

• 主體材料：鋁合金；

• 角擺行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °；

• 最大垂直負載：3 kg；

• 單向重復定位精度Z：±0.15 μm；

• 單向重復定位精度ΘX, ΘY：±2.5 μrad, ±2.5 μrad；

• 最小位移Z：25 nm；

• 最小位移ΘX, ΘY：7.5 μrad, 7.5 μrad；

• 速度：1 mm/s - 10 mm/s；

• 重量：1.5 kg；

• 可提供真空環境規格；

• 集成傳感器：光學編碼器；

• 位置傳感分辨率：2 nm；

• 控制軟件：提供PC端使用軟件;

• 控制器通道：3通道輸出控制;

• 控制方式：根據用戶輸入的位移指令，實現對位移臺三軸空間姿態的運動調節；各驅動單元模塊通過光柵位置反饋實現閉環控制；通過專用軟件，實現對三軸并聯運動的解算，分配到各驅動單元模塊，實現三軸空間姿態的同時調節

壓電三軸并聯位移臺，三自由度，ZTT移動——詳細參數：

壓電三軸并聯位移臺，三自由度，ZTT移動——尺寸圖：