VERIC A6151A 碳化硅高温氧化炉
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市矢量科学仪器有限公司
- 品牌 北方华创
- 型号 VERIC A6151A
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2024/9/5 17:32:05
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1. 产品概述
VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备。
2. 设备用途/原理
VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备,高温度 2000℃,升温速率可达 100℃/min。石墨电阻加热,工艺腔室洁净。自动装片,Cassette to Cassette。SEMI S2/S6 认证。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4/6 英寸兼容,适用材料 碳化硅、氮化铝,适用工艺 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、沟槽平滑,适用域 科研、化合物半导体。百科:退火炉的原理?主要涉及通过控制加热和冷却过程中的温度和时间,以改变半导体材料的性质或结构,从而实现对材料的精确控制和优化处理。这种设备通常被称为RTP(Rapid Thermal Processing)快速退火炉。RTP退火炉的关键特点包括快速升温、保持温度、冷却阶段以及气体控制。