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VERIC A6151A 碳化硅高温氧化炉

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1. 产品概述

VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备。

2. 设备用途/原理

VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备高温度 2000℃,升温速率可达 100℃/min石墨电阻加热,工艺腔室洁净自动装片,Cassette to CassetteSEMI S2/S6 认证

3. 设备特点

晶圆尺寸 4/6 英寸兼容适用材料 碳化硅、氮化铝适用工艺 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、沟槽平滑适用域 科研、化合物半导体百科:退火炉的原理?主要涉及通过控制加热和冷却过程中的温度和时间,以改变半导体材料的性质或结构,从而实现对材料的精确控制和优化处理。这种设备通常被称为RTP(Rapid Thermal Processing)快速退火炉。RTP退火炉的关键特点包括快速升温、保持温度、冷却阶段以及气体控制。

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氧化扩散设备


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