RIE-230iP 等离子体（ICP）刻蚀设备

具体成交价以合同协议为准

产品标签

等离子体（ICP）刻蚀设备 RIE-230iP SAMCO

在线交流发送询价进入商铺同类产品

联系方式：谢泽雨19842703026 查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!

公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

1. 产品概述

RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式，高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用的龙卷风式线圈电，高效地产生稳定的高密度等离子体，可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外，?230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。

2. 设备用途/原理

GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度加工。铁电材料、电材料等难蚀材料的加工。

3. 设备特点

龙卷风线圈电，它能有效地产生稳定的高密度等离子体，使蚀刻具有高选择性、高精度和良好的均匀性。低损伤工艺，通过ICP产生高密度的等离子体，实现了低偏置、低损伤的工艺。温度控制，电调和He冷却的平台和反应室内侧壁的温度控制使蚀刻在稳定的条件下进行。