亚洲AV成人片无码网站玉蒲团,男人10处有痣是富贵痣,AV亚洲欧洲日产国码无码苍井空,日韩午夜欧美精品一二三四区

官方微信|手机版

产品展厅

产品求购企业资讯会展

发布询价单

化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>干法工艺设备>等离子体刻蚀设备>NLD-5700 干法刻蚀装置

分享
举报 评价

NLD-5700 干法刻蚀装置

具体成交价以合同协议为准

联系方式:谢泽雨查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1 产品概述:

      干法刻蚀是一种利用物理或物理与化学相结合的方法,通过高能气体分子或离子束轰击固体表面,使材料发生化学反应或物理溅射,从而去除不需要的部分,实现高精度的加工过程。干法刻蚀在半导体制造、微纳加工、光学加工等领域具有广泛应用,是芯片制造中的关键技术之一。

2 设备用途:

干法刻蚀设备主要用于以下领域:

  1. 半导体制造:在半导体芯片制造过程中,干法刻蚀被用于去除硅片表面的多余材料,形成精确的电路图形。这是半导体制造工艺中的关键环节之一,直接影响芯片的性能和良率。

  2. 微纳加工:干法刻蚀机在微纳加工中扮演着重要角色,能够制作出微米和纳米级别的精细结构,如微型天线、纳米光子晶体、微结构电极等。

  3. 光学加工:在光学领域,干法刻蚀机被用于制作高精度、高质量的光学元件,如微型透镜、激光反射面、偏振器件、光通讯器件等。

3 设备特点

干法刻蚀设备具有以下特点:

  1. 高精度:干法刻蚀能够实现微米甚至纳米级别的加工精度,满足高精度加工的需求。

  2. 高选择比:干法刻蚀在刻蚀过程中能够精确控制不同材料的刻蚀速率,实现高选择比刻蚀,减少对其他材料的损伤。

  3. 各向异性好:干法刻蚀技术能够产生垂直度高的侧壁,有利于形成精确的图形结构。

  4. 刻蚀损伤小:相比湿法刻蚀,干法刻蚀在刻蚀过程中产生的损伤较小,有利于保护底层材料。


4
技术参数和特点:

对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700

对应光学器件、MEMS制造的干法刻蚀装置NLD-5700是搭载了磁性中性线(NLD- neutral loop discharge)等离子源的量产用干法刻蚀装置。(可实现产生低压、低电子温度、高密度的等离子)

产品特性

在洁净房内作业可扩张为双腔。(可选配腔室:NLD、有磁场ICPCCP或者去胶室),为时间空间可控的等离子,因此设备干法清洁容易。

腔体维护简便。从掩模刻蚀到石英、玻璃刻蚀,可提供各类工艺解决方案。门的半导体技术研究所会提供完备的工艺支持体制。


相关分类

干法清洗设备


化工仪器网

采购商登录
记住账号    找回密码
没有账号?免费注册

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息: