| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1千-2千 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 真空排氣
日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 真空排氣
通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
特點
低溫區域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。通信功能
可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
用途
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）
規格
| 型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到達壓力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
| 質量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
| 電流值 | 穩定時 | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
| 最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
| 冷卻水一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| 氮氣吹掃 | 軸 | 5 SLM | ||||
| 氣鎮 | 0~45 SLM | 沒有 | 0~45 SLM | |||
*1 請訂購時確認。
| 型號 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
| 使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| 機械 增壓泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
| 最大 排氣 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
| 60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
| 到達壓力 | 0.67 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF50 | |||||||
| MBP表面處理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
| 質量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
| 電源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
| 電流值 | 穩定時 | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
| 最大值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
| 冷卻水 一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
| 冷卻水 出入口壓差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| 吹掃氣 | 一次 壓力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
| 二次 壓力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
| N2 吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | ||||
*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。
*2 請訂購時確認。
*3 根據用途，使用氣鎮的規格也可報價。
配飾
■消音器 (選項)
| 型號 | 材質 | 表面處理 | 重量 (kg) | 法蘭 接口 | LR 300 | LR 600 | LR 1200 | LR 1800 | L& 3601 | LR 60 | LR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T |
| RS-01 + kitA | SUS 304 | GBB處理 | 4.1 kg | KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
| RS-01 + kitB | KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + kitA | 8.3 kg | KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
| RS-02 + kitB | KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + kitA | 磨板 | 12.5 kg | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + kitB | - | - | - | - | 〇 | - | - | - | - | - |
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業和科學的發展做出貢獻”。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創業精神，并與廣泛行業的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業設備，ULVAC接受了利用技術進行創新并努力創造新價值的挑戰。
追求真空技術創造新價值
ULVAC集團是一家企業集團，為廣泛的行業全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業務部門是一組負責開發、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業務領域和不斷發展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續利用集團的集體力量和創新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業和科學的發展做出貢獻。
零部件事業部
ULVAC株式會社 零部件事業部
愛發科機工株式會社
愛發科低溫有限公司
愛發科（寧波）有限公司
韓國愛發科低溫公司
愛發科低溫技術（寧波）有限公司
愛發科銷售有限公司
愛發科科技有限公司
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