背散射電子圖像分辨率 | 30nm | 產地類別 | 國產 |
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二次電子圖象分辨率 | 20nm | 放大倍數 | 20-30000x |
加速電壓 | 1-15kV | 價格區間 | 面議 |
儀器種類 | 鎢燈絲 | 應用領域 | 綜合 |
經濟型掃描電鏡是從光學到電子顯微鏡轉換的理想工具。它是高分辨率成像的經濟型解決方案,可提供成像結果。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結構、成分和結晶學信息等優點。目前,已被廣泛應用于生命科學、物理學、化學、司法、地球科學、材料學以及工業生產等領域的微觀研究,僅在地球科學方面就包括了結晶學、礦物學、礦床學、沉積學、地球化學、寶石學、微體古生物、天文地質、油氣地質、工程地質和構造地質等。
經濟型掃描電鏡組成:
掃描電鏡大致可以分為鏡體與電源電路系統兩個組成部分。鏡體部分主要包括電子光學系統,信號收集與顯示系統,真空抽氣系統。
?。?)電子光學系統
由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
?。?)信號收集及顯示系統
檢測樣品在入射電子作用下產生的物理信號,然后經視頻放大作為顯像系統的調制信號?,F在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導管和光電倍增器所組成。
?。?)真空系統
真空系統的作用是為保證電子光學系統正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
?。?)電源系統
電源系統由穩壓,穩流及相應的安全保護電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
經濟型掃描電鏡的主要性能:
1、放大倍數
在掃描電子顯微鏡中,放大倍數是通過調節電子束在樣品表面掃描的幅度來實現的,在操作過程中,只需改變掃描線圈的驅動電流就可以確定所需的放大倍數。
2、分辨率
分辨率在掃描電子顯微鏡中具有重要性,其定義在微區成分分析中表示能夠分析的較小區域,而在成像中表示能夠分辨兩點之間的較小距離。這一性能指標在相同放大倍數下起著關鍵作用,因為不同的分辨率會導致觀察到的表面形貌細節存在差異。下圖對比展示了不同分辨率的圖片,其中(a)是高分辨率圖片,(b)是低分辨率圖片。盡管兩張圖呈現了相似的試樣形貌,但在形貌細節方面存在顯著差異。高分辨率的(a)圖清晰地展示了樣品表面的形貌細節,而低分辨率的(b)圖由于分辨率不足,無法清晰地觀察到細節。
圖片為不同分辨率圖片對比(a)高分辨率(b)低分辨率
3、景深
掃描電鏡具有大的景深,指的是在聚焦完成后,一定縱深范圍內的物體都能呈現清晰的圖像。這種縱深范圍被稱為景深。在聚焦時,掃描電鏡能夠清晰地顯示聚焦面及其前后的圖像,這使得觀察表面的凹凸不平信息更為便捷。下圖生動展示了掃描電鏡的大景深特性,能夠呈現出比較立體的圖像,有效地還原樣品的真實形貌。