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LSA 101 激光退火炉

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激光退火

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








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Veeco 的 LSA101 系统安装在 IDM 和晶圆代工厂,是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的技术。LSA 101 的扫描技术基于 Veeco 的可定制 Unity 平台™构建,在均匀性和低应力处理方面具有根本优势。LSA101 系统可实现关键的毫秒级退火应用,使客户能够保持精确、有针对性的高加工温度,从而提高设备性能、降低泄漏和提高产量。

标准 LSA101 配置利用单束窄激光束将晶圆表面从衬底温度加热到峰值退火温度。为了应对日益复杂的工艺需求,Veeco 开发了一种双光束技术,该技术扩大了非熔融激光退火的应用空间,并具有第二个低功率激光束以实现低温加工。当使用双光束时,会结合第二个更宽的激光束来预热晶圆。双光束系统在调节温度和应力分布方面提供了灵活性。






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