Beneq Transform® 300 ALD

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ALD

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公司介绍 主营产品

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

展开

冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发

价格区间	面议	应用领域	能源,电子

1.产品概述：

Beneq Transform 300 是一个高度通用的制造平台，面向致力于 CIS、电源、Micro-OLED/LED、先进封装和其他 MtM 应用的 IDM 和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案，适用于多种高薄膜应用，从栅电介质到钝化和/或封装等。

2.产品优势：

大的灵活性和功能：Beneq Transform® 300 是一款同时提供热 ALD（批量）和等离子 ALD（单晶圆）技术的 300mm 原子层沉积（ALD）簇工具。

配置：找到适合您的设置。 Transform® 300 平台旨在满足广泛的容量和应用要求，包括先进封装、芯片封装和磁带晶圆应用。

生产力：行业标准的顶水平。该工具包括可维护性和可用的短 MTTCR。借助我们有的预热模块，您可以享受热批量 ALD 的高吞吐量。

晶圆厂就绪：Beneq Transform® 300 与 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 和 S8 标准。