| 應用領域 | 醫療衛生,環保,綜合 |
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日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡
日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡
特點
標配日立生產的照射系統球差校正器（附自動校正功能）
搭載具有高輝度、高穩定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩定性使機體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）
采用全新構造的機體外殼蓋
配備日立生產的高性能樣品桿*
*選項
高輝度冷場FE電子槍×高穩定性×日立制球面像差校正器
以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術為基礎，進行優化，進一步實現電子槍的高度穩定性。
此外，還更新了鏡體，電源系統和樣品臺，以支持觀察亞?圖像，并提升了機械和電氣穩定性，然后與日立公司的球差校正器結合使用。
不僅可以穩定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動像差校正功能可以實現快速校正，從而易于發揮設備的固有性能。使像差校正可以更實用。
Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）
支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*
支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實現更高的靈敏度和處理能力進行EDX元素分析。
由于第二檢測器位于第一檢測器的對面位置，因此，幾乎不會因為樣品傾斜，導致X射線中的信號檢測量發生變化。所以，即使是結晶性樣品，也不用顧忌信號量，可按照樣品的方向與位置進行元素分析。
此外，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細映射等領域也極為有效。
GaAs（110）的原子柱EDX映射
像差校正SEM圖像/STEM圖像 同時觀察
配有標配二次電子檢測器，可同時觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時觀察樣品的表面和內部結構，可以掌握樣品的三維構造。
在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實地樣品表面圖像
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