亚洲AV成人片无码网站玉蒲团,男人10处有痣是富贵痣,AV亚洲欧洲日产国码无码苍井空,日韩午夜欧美精品一二三四区

官方微信|手机版

产品展厅

产品求购企业资讯会展

发布询价单

化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>掩模版和中间掩模版制造设备>掩模光刻胶处理及清洗设备>ASx 系列 清洗设备

分享
举报 评价

ASx 系列 清洗设备

具体成交价以合同协议为准
产品标签

SUSS清洗设备研磨

联系方式:谢泽雨查看联系方式

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。








冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1.产品概述:

SUSS MicroTecs ASx 系列为加工掩模和 250 nm 至 90 nm 技术节点提供了先进的烘烤、显影和清洁方法。其可靠性、稳定性和高性能使平台能够满足无损加工掩模的要求,用于 248 nm 和 193 nm 光刻工艺。

2.产品工艺:

晶圆尺寸:4、6、8英寸

小片的用工具

符合 SEMI S2、S8、S13

CE认证

符合欧洲标准和机械指令 2006/42/EC、EMC- 2004/108/EC 和低电压指令 2006/95/EC

DIN ISO 14.644 2

SECS/GEM 200/300 mm 工厂自动化标准接口

3.产品优势:

采用A+喷嘴在整个掩模上连续涂布介质,使显影的冲击力小化。

显影剂主动脱气,可防止微气泡的产生,实现低的缺陷计数。

PEB升为含APB的集群设备

高效的化学过滤(胺/酸)和精确的温、湿度控制

SMIF装/卸载的全自动化

增强的工艺控制与监测功能

与曝光后烘烤系统APB9500结合,获得佳效果




化工仪器网

采购商登录
记住账号    找回密码
没有账号?免费注册

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息: