| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子,综合 |
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HMI eScan 315晶圆检测仪是一款由HMI公司制造的自动化晶圆和掩模检查设备，旨在为图案化晶圆和光罩检查过程提供经济高效的解决方案。该系统采用专有的PAT-FINDER图像处理器，并利用三通道彩色CCD相机准确捕捉高达143个晶圆或掩模的图像。
HMI eScan 315晶圆检测仪具有高级运动控制功能，包括多轴扫描和插值运动控制，能够进行自动对准、扫描、照明和分析，以进行全面的缺陷审查，最大分辨率高达26百万像素。此外，它还具备强大的技术、先进的运动控制功能和模块化工程设计，是任何行业或研究机构的理想选择。
需要注意的是，HMI eScan 315与HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp是不同的型号。后者是一款功能更强大、高精度的掩模和晶圆检测设备，拥有先进的成像技术和软件，提供自动缺陷检测、测量、分割和分类能力，一直到纳米级。eScan 315xp还结合了电子束光学、低温扫描系统和高度的图像解析算法，为用户提供了无与伦bi的精度和准确性。
HMI eScan 315是一款功能强大且经济高效的晶圆和掩模检查设备，适用于各种行业和研究机构的需求。
产品概述
自动化晶圆和掩模检查设备
设计用于图案化晶圆和光栅检查过程
技术特点
高精度成像技术
先进的图像处理器PAT-FINDER
三通道色彩CCD相机
最大分辨率高达26百万像素
功能能力
自动缺陷检测、测量、分割和分类
纳米级检测能力
全面缺陷审查
检测划痕和沉积物在晶圆表面
技术优势
高级运动控制功能，包括多轴扫描和插值运动控制
超快的样本扫描时间
自动化软件工具用于缺陷检测
应用领域
半导体行业上的纳米级误差检测
纳米级表面缺陷检测无与伦bi的精度和准确性
市场表现
多个销售渠道可供选择，包括CAE、Moov等
采购中心
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