湿法清洗设备配套用水溶臭氧浓度检测仪是一款创新的水中臭氧分析仪器，基于不同波长光对臭氧吸收不同的原理设计，采用双光路采样感应技术及半导体级别接触材料，实时在线检测臭氧水溶浓度。仪器采用反射测量腔体，数据稳定准确、使用寿命长，无论是半导体清洗还是臭氧水的杀菌领域均可使用，应用市场广泛。

应用领域

本仪器主要应用于超纯水系统、制药业、半导体湿法清洗及其他工业处理领域，为水中臭氧浓度仪器的创新开发。

湿法清洗设备配套用水溶臭氧浓度检测仪产品特点
① 无移动部件，直线型设计，便于安装操作；

② 半导体级别接触材料设计；

③ 采用自动控制系统；

④ 维护周期长；

⑤ 采用双光路取样传感技术及反射测量腔室，开创了水中臭氧浓度检测的新技术；

⑥ 精度高，数值波动小；

⑦ 零点稳定，可手动校准修正。

技术参数
量    程：0-150mg/L（ppm）
精    度：1.5%F.S
重 复 性：1%F.S

零 漂 移：1%F.S/月
响应时间：2秒到95%

流    量：0-75L/min

耐    压：max5.0bar
模拟输出：4-20mA

串口通讯：RS232，波特率9600bps

电源输入：24V

接    口：3/4″Flaretek

接液材料：耐臭氧，与半导体制程兼容

吹 扫 口：G1/8

工作温度：5～40℃

尺    寸：210*60*60mm
重    量：1kg