一、KYKY-EM69系列钨灯丝扫描电子显微镜性能

KYKY-EM69系列钨灯丝扫描电子显微镜成像质量出色、拓展性丰富、兼容低真空模块、自动功能强大，结合众多自动化功能，可帮助您在材料科学、生命科学或工业领域等进行科学研究及失效分析。

产品特点：兼容低真空功能、丰富的自动化功能、支持定制化、选配多功能超大样品仓、大视野导航相机、拓展丰富。

拓展功能：可以拓展多种探测器以及提供多种定制化服务以及解决方案。

电子束曝光功能：

扫描电镜改造为电子束曝光系统（EBL）后，能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。

二、KYKY-EM69系列钨灯丝扫描电子显微镜技术参数

三、产品功能介绍

四、产品拓展

五、应用示例