SEC-Z517MGX horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX
- 公司名称 上海进佳科学仪器有限公司
- 品牌 HORIBA/堀场
- 型号 SEC-Z517MGX
- 产地 日本
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/10/14 17:44:58
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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1万-3万 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 生物产业,能源,电子,汽车,电气 | 气体 | N2、SiH4、Ar等 |
| 量程 | 10SLM、最小3sccm | 接口 | IGS 14W3 |
| 通讯 | EtherCat |
Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度质量流量计
畅销型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选低成本数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选低成本模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212
horiba高精度气体质量流量计Z512 又称气体质量流量控制器，简称MFC。
主要功能是：控制器管路中的流量达到期望的设定值，同时反馈实际的流量信号到上位机。
大流量Horiba气体质量流量计SEC-Z512是一款高稳定性、高精度的MFC，用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，
我公司提供进口
SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，
保证全新进口，终身维修。
产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地更改气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器兼容;
7) 可选其他数字通讯：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模拟信号。
horiba高精度气体质量流量计Z512 horiba高精度气体质量流量计Z512
产品参数
规格-数字-模拟转换模式 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 订购注意： 请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。 如是设备备件的更换，请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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