化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>分子束外延(MBE)>FPSUR-Laser-Cluster 超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)
FPSUR-Laser-Cluster 超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)
參考價 | ¥1500000-¥2200000/件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌孚光精儀
- 型號FPSUR-Laser-Cluster
- 所在地上海市
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間2024/12/16 9:14:33
- 訪問次數(shù) 31
產(chǎn)品標簽
聯(lián)系方式:華小姐021-22799028 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng) laser cluster將不同的薄膜和分析技術(shù)結(jié)合成一個強大的系統(tǒng)。***多可將七個單獨的腔室連接到中央傳輸模塊,從而在超高真空條件下實現(xiàn)復(fù)雜的處理!
超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)的核心是中央傳輸模塊和負載鎖定室。額外的沉積、分析和專門的轉(zhuǎn)移模塊很容易添加到系統(tǒng)中。由于系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(每個模塊都安裝在帶輪子的獨立支架上),這是一個快速而簡單的過程。
超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)的設(shè)計既節(jié)省了空間,又提供了的可接近性:所有真空室均為獨立式,便于接近所有法蘭和部件。
中央轉(zhuǎn)移室和傳輸模塊
中央轉(zhuǎn)移和處理室是集群超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)的核心,高度靈活,可適應(yīng)不同的工藝模塊。它安裝在一個堅固的鋼架上,并具有用于六個或八個附加腔室的對接法蘭。它還包括系統(tǒng)的烘烤加熱器組件,包括一個帶中央循環(huán)風(fēng)扇的12 kW加熱器。其他功能包括:
六/八個端口(一個由負載鎖占據(jù)),帶有CF63(4?”)或CF150(8”)法蘭
鈦升華/離子吸氣劑組合泵在低壓下的高抽運速度
低10?10毫巴標度基準壓力
精確的中央重型機械手/轉(zhuǎn)移機構(gòu),能夠處理直徑為6”、重量為1 kg、三個自由度(伸展、旋轉(zhuǎn)、高度)的負載
轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可以轉(zhuǎn)移襯底/樣品,也可以轉(zhuǎn)移激光MBE室的PLD靶盒
樣品和目標轉(zhuǎn)盤的可選內(nèi)部存儲系統(tǒng)
帶頂置顯示屏的攝像系統(tǒng),方便監(jiān)控傳輸
傳輸系統(tǒng)可以進行修改,以適應(yīng)各個附加分析或處理系統(tǒng)的要求。
超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)的核心是中央傳輸模塊和負載鎖定室。額外的沉積、分析和專門的轉(zhuǎn)移模塊很容易添加到系統(tǒng)中。由于系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(每個模塊都安裝在帶輪子的獨立支架上),這是一個快速而簡單的過程。
超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)的設(shè)計既節(jié)省了空間,又提供了的可接近性:所有真空室均為獨立式,便于接近所有法蘭和部件。
中央轉(zhuǎn)移室和傳輸模塊
中央轉(zhuǎn)移和處理室是集群超高真空激光分子束外延團簇系統(tǒng)的核心,高度靈活,可適應(yīng)不同的工藝模塊。它安裝在一個堅固的鋼架上,并具有用于六個或八個附加腔室的對接法蘭。它還包括系統(tǒng)的烘烤加熱器組件,包括一個帶中央循環(huán)風(fēng)扇的12 kW加熱器。其他功能包括:
六/八個端口(一個由負載鎖占據(jù)),帶有CF63(4?”)或CF150(8”)法蘭
鈦升華/離子吸氣劑組合泵在低壓下的高抽運速度
低10?10毫巴標度基準壓力
精確的中央重型機械手/轉(zhuǎn)移機構(gòu),能夠處理直徑為6”、重量為1 kg、三個自由度(伸展、旋轉(zhuǎn)、高度)的負載
轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可以轉(zhuǎn)移襯底/樣品,也可以轉(zhuǎn)移激光MBE室的PLD靶盒
樣品和目標轉(zhuǎn)盤的可選內(nèi)部存儲系統(tǒng)
帶頂置顯示屏的攝像系統(tǒng),方便監(jiān)控傳輸
傳輸系統(tǒng)可以進行修改,以適應(yīng)各個附加分析或處理系統(tǒng)的要求。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- FPESI-E3611 離子體灰化蝕刻系統(tǒng)
- FPCTE-Play-ALD 等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)
- FPANR-AT410 ALD系統(tǒng),原子層沉積設(shè)備
- FPANG-COVAP COVAP物理氣相沉積系統(tǒng),PVD系統(tǒng)
- FPTOR-IBD 離子束沉積系統(tǒng),離子shu沉積濺射鍍膜
- FPTOR-EB-4P 電子束蒸發(fā)系統(tǒng),EB-4P電子shu沉積系統(tǒng)
- FPTOR-RIE600W 反應(yīng)離子刻蝕機系統(tǒng)
- FPTOR-ICPRIE-ICP-RIE 感應(yīng)耦合反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)