CY-EVZ270-I-HP-SS 熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-EVZ270-I-HP-SS
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/18 13:10:04
- 訪問次數 7
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
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應用領域 | 地礦,能源,建材,電子,冶金 |
簡單介紹:
熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等
詳情介紹:
配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體,鍍膜過程可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa,可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本儀器體積小,節省空間,能夠置于試驗臺上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。
適用范圍:
適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。
技術參數:
產品名稱 | 熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-EVZ270-I-HP-SS | |
樣品臺 | 位 置 | 頂部設置 |
外形尺寸 | 直徑φ150mm | |
轉 速 | 0-20 rpm可調 | |
可調溫度 | ≦500℃ | |
熱蒸發源 | 鎢舟 | |
蒸發電源 | 蒸發源配一組獨立電源 | |
濺射電源 | 直流電源 | |
濺射靶 | 數量2”×1 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ273mm×H300mm |
觀察窗口 | 直徑φ80mm | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統 | 前級泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速60L/S | |
真空測量 | 復合真空計(電離規+電阻規) | |
系統真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統 | CYKY自研專業級控制器 | |
其他參數 | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 600mm×500mm×850mm | |
整機功率 | 7KW | |
整機重量 | 120kg |