安裝條件

1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；

2、設(shè)備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；

3、額定功率：1500w；

4、設(shè)備用氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純度 ≥99.99%；

5、擺放工作臺(tái)尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 50kg 以上；

6、擺放位置要求通風(fēng)。

技術(shù)參數(shù)

1、 蒸發(fā)源數(shù)量：1鎢絲籃/鎢舟

2、 適用蒸發(fā)膜料：金銀銅等不易被氧化的金屬，碳繩；

3、 等離子濺射靶數(shù)量：1x2”

4、 適用靶材：金銀銅等比重大，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的金屬；適用尺寸φ50mm x3mm

5、 蒸發(fā)源電壓：10V

6、 蒸發(fā)電流 0～100A 連續(xù)可調(diào)

7、 配 1 個(gè)鎢舟、1 個(gè)鎢絲籃；

8、 不銹鋼樣品臺(tái),直徑為60mm；蒸發(fā)時(shí)使用樣品臺(tái)下表面及配套夾具，濺射時(shí)使用樣品臺(tái)上表面，直接將樣品放置在平面上。

9、 樣品臺(tái)距離蒸發(fā)源距離20~50mm可調(diào)。當(dāng)使用濺射功能時(shí)樣品臺(tái)應(yīng)和靶面距離30mm~50mm。

10、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm，高度為150mm；

11、 真空腔體抽氣接口為 KF25；

12、 進(jìn)氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認(rèn)配不銹鋼微調(diào)閥以調(diào)節(jié)進(jìn)氣量；

13、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；

14、 可調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流、濺射電流，可設(shè)置蒸發(fā)**電流值、**真空值；

15、 **保護(hù)：過流、真空過低自動(dòng)切斷電流；

16、 極限真空：1Pa(搭配雙級(jí)旋片泵)；

17、 真空測(cè)量為電阻規(guī)真空計(jì)，其量程為：1～105Pa

注意事項(xiàng)

1、對(duì)于蒸鍍對(duì)氧較敏感的材料，建議增配分子泵組。

2、為了達(dá)到較高的無氧環(huán)境，至少要用高純惰性氣體對(duì)真空腔體清洗 3 次。

可選配件

膜厚監(jiān)測(cè)儀

1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）

2、膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應(yīng)力，溫度和密度

3、測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置測(cè)量范圍：500000?（鋁）

4、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz

5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35

其他配件

1、鎢舟、鎢絲籃；

2、CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍10-5Pa~105Pa）；

CY-GZK60系列小型分子泵組（含復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍10-5Pa~102Pa）

VRD-4雙極旋片真空泵；

3、KF25真空波紋管；長(zhǎng)度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架

4、膜厚儀晶振片；