CY-MS500S-2TA1S 實驗室多弧離子鍍鍍膜儀
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-MS500S-2TA1S
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/18 15:29:07
- 訪問次數 10
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 地礦,能源,建材,電子,冶金 |
詳情介紹:
實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
設計特色:
本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。
技術參數:
產品型號 | CY-MIOP500S-2TA | ||
真空腔體 | 水冷不銹鋼腔體 φ500mm X 490mm(H) 前開門式,配有φ100mm石英觀察窗 內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣 預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀 | ||
進氣系統 | 質量流量計Ar氣0~200sccm, N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制 | ||
供電要求 | AC 220V 50Hz 10kW | ||
控制方式 | 15英寸觸控屏 組態控制軟件 | ||
多弧靶 | 數量規格 | 3英寸x2 | |
安裝方式 | 腔體側方對置 | ||
工作電流 | 0~150A | ||
靶材厚度 | max50mm,min20mm | ||
樣品臺 | 規格 | 行星式掛架 | |
可懸掛樣品數 | 每支掛架上6個掛點,共計6個掛架 | ||
轉速 | 公轉轉速1~20rpm | ||
真空系統
| 產品型號 | CY-GZK103-A | |
分子泵 | 渦輪分子泵 | ||
前極泵 | 雙極旋片泵 | ||
抽氣速率 | 分子泵:600L/S | 綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa | |
旋片泵:1.1L/S | |||
極限真空 | 5×10E-4Pa | ||
抽氣接口 | KF40 | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測量 | 復合真空計 |