物理氣相沉積（PVD）
- 公司名稱 北京宏昌信科技有限公司
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- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2015/11/11 8:19:09
- 訪問次數 976
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典型應用：
- 高質量Al（含Si/Cu/Ti）
- 擴散阻擋層TiN、TiW（反應濺射）
- 電阻薄膜 （NiCr、TaN）
- 貴金屬：Au、Pt
| 特征 | System400 | System100 |
| 磁控管尺寸 | zui大200mm | zui大200mm |
| 磁控管個數 | 4 x 200mm | 單個 |
| 射頻和直流選擇 | 可以 | 可以 |
| 射頻偏壓 | 可以 | 可以 |
| 進樣 | 真空進樣 | 真空進樣 |
| 襯底 | 見手冊 | 見手冊 |
| 質量流量計控制的氣體管線 | 典型的zui大到4個 | 典型的4個 |
| 載片臺溫度范圍 | 20到300ºC |
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