PlasCalc 海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀,海洋光學(xué)
- 公司名稱 成都光馳科技有限公司
- 品牌 OceanOptics/海洋光學(xué)
- 型號(hào) PlasCalc
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2016/11/24 7:46:40
- 訪問(wèn)次數(shù) 1372
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海洋光學(xué)PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀
PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀,實(shí)現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測(cè)量,通過(guò)高級(jí)過(guò)程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法,只需3m就可以獲得測(cè)量結(jié)果。海洋光學(xué)特點(diǎn)
海洋光學(xué)Recipe編輯器Recipe編輯器有助于簡(jiǎn)單快捷的配置、構(gòu)建及存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)方法。對(duì)一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測(cè)量、等離子體蝕刻監(jiān)測(cè)、表面潔度監(jiān)測(cè)、等離子體室控制及異常污染、排放監(jiān)測(cè)等,能夠快速簡(jiǎn)單的構(gòu)建模塊過(guò)程控制。 多種工具用于等離子體診斷隨PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實(shí)現(xiàn)多種數(shù)學(xué)算法功能。可選的波長(zhǎng)發(fā)生器(可以單獨(dú)購(gòu)買(mǎi))用于類型確認(rèn),而波長(zhǎng)編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實(shí)際光譜及所有過(guò)程控制信息。 PlasCalc 配置說(shuō)明
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PlasCalc 等離子體監(jiān)測(cè)控制儀優(yōu)點(diǎn)是軟件分析功能強(qiáng)大,光譜范圍寬,缺點(diǎn)是分辨率低.