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殘余應力儀可以測定殘余應力和殘余奧氏體。對任何尺寸的試樣都可進行非破壞性分析，因為它可以直接探測分析試樣。殘余應力儀*由軟件控制，包括：測角儀，可以相互變換的Ωψ，直線位敏探測器，帶X射線管和便攜式計算機的X射線源。即使在大尺寸樣品的情況下，殘余應力儀也能增加應力分析的速度和精度，從而提高了鐵基產品的質量控制。
殘余應力X射線衍射分析儀主要應用：
定量分析軸承和內燃機噴射器部件中的殘余奧氏體
檢測輸片惰性輪中的殘余應力
檢測汽車發動機部件的殘余應力（凸輪軸、連桿、發動機軸、均衡器）
檢測由于全回火引起的殘余應力（家用電器、結構部件）
檢測氣體傳導時所存在的
殘余壓力
檢測大幅度拉伸結構件中的
殘余應力
通過檢測應力來測量工件噴丸和軋制的效率
檢測鑄件的殘余應力（機械工具鑄鐵件和汽車鑄鋁部件）
檢測焊接引起的應力（激光和電焊）
研究鋁合金汽車輪廓中的殘余應力和應力阻抗的關系
優化切削去除的工作參數以提高機械部件的應力阻抗
檢測螺旋式和葉式彈簧的殘余應力
研究加上工作載荷后的臨界區域
殘余應力X射線衍射分析儀主要特點
快速、靈活、使用簡便的特點
系統包括一個中央處理單元、一個測角儀和一個便攜式PC。
中央控制單元：
高壓X-射線源
確保安全的*聯鎖裝置。
測角儀
安裝在三角架上（也可選擇磁性錨定裝置）
選擇Ω、ψ的幾何結構和傾角ψ的位置
計算機控制步進驅動器的所有運動
簡易的樣品調準系統
