LAUDA-Noah POU
熱電的工藝恒溫控制器，專為半導體行業度身定制，溫度范圍從 –20 到 90 °C
基于經過實踐驗證的帕爾貼熱傳導原理，LAUDA-Noah POU熱電的溫度控制系統能夠為等離子刻蝕應用提供可重復性的溫度控制。對于靜電卡盤(ESC)動態的溫度控制，使得POU能夠應用于所有類型的刻蝕工藝。
高效節能，節省空間，同時還能夠穩定的控制溫度，這種智能系統能夠完美的提高wafer to wafer的均勻性。
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LAUDA 勞達貿易（上海）有限公司 | 下載次數 |
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