目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導體微電子設備>>等離子體處理>> FPANG-COVAPCOVAP物理氣相沉積系統,PVD系統
COVAP物理氣相沉積系統為許多工藝應用提供緊湊、經濟、但仍然穩健的PVD解決方案。專為需要安全可靠PVD的實驗室而設計，該COVAP物理氣相沉積系統可在緊湊的實驗室內生產可重復的高質量薄膜。
COVAP物理氣相沉積系統隔離沉積源以減少熱效應和交叉污染。Covap PVD系統配備了一整套可拆卸腔室屏蔽，以確保腔室易于清潔和維護。當腔室打開時，切斷電源和級電源以及氣壓，確保高水平的安全。它可以集成到手套箱中，也可以在獨立配置中選擇。
COVAP物理氣相沉積系統規格參數
矩形蛤殼式腔室，便于接近
即使在手套箱中，也可以輕松裝載材料和基材
Covap物理氣相沉積平臺為移除屏蔽、清潔和為下一次運行準備系統提供了暢通無阻的通道
準備好手套箱集成
緊湊型600mm x 1000mm系統占地面積
從2或4個源配置中進行選擇
基于配方的高級多層控制
順序或共沉積
最大100mm x 100mm基板的固定支架
仔細隔離QCM傳感器，以確保沒有來自相鄰源材料的干擾
渦輪分子泵提供高真空
2年保修，擁有業界靈敏的支持團隊
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