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前言
         石英玻璃，被業內譽為“玻璃王”，是采用二氧化硅制造而成的特殊玻璃。具有優秀的物理化學性能，如透光性高、耐高溫、膨脹系數低、電絕緣性能高等，常被制作成石英玻璃管材、石英坩堝等產品，這些產品可用于半導體、光纖通信、電子冶金等領域。高純石英砂，作為石英玻璃原料，其純度對玻璃性能具有至關重要的影響。石英砂中不同雜質元素對性能影響不同：如鉀、鈉等堿離子容易造成析晶現象，適量鈦元素則有助于降低膨脹系數。針對不同的用途，石英砂中雜質元素的限量要求也有所不同。為適應越來越高的檢測要求，國家硅材料深加工產品質量監督檢驗中心等單位起草的《GB/T 32650-2016電感耦合等離子體質譜法檢測石英砂中痕量元素》正式發布并實施。

儀器介紹
        ICP-MS 2000電感耦合等離子體質譜儀是天瑞儀器完全自主研發的新一代產品，因具有多元素同時檢測、檢測范圍廣、檢出限低等特點而被廣泛應用；配置的碰撞反應池技術能有效去除多原子干擾離子；冷焰模式下能進一步降低堿金屬等元素的檢出限。

部分元素在冷焰模式下性能參數
        冷焰模式下，繪制各元素0，0.05，0.1，0.2，0.5，1.0μg/L系列濃度標液工作曲線，39K、40Ca、56Fe等同位素的線性相關系數r均大于0.999，背景等效濃度為0.0023μg/L~0.0217μg/L。

應用案例
ICP-MS2000測定高純石英砂中雜質元素
        參考《GB/T 32650-2016 電感耦合等離子體質譜法檢測石英砂中痕量元素》，稱取1g（精確至0.1mg）樣品于PFA消解罐中，加入一定量氫氟酸（電子級），置于電熱板上加熱，使樣品充分溶解，冷卻后開蓋趕酸；待蒸干后用硝酸（電子級）溶解剩余雜質，并定量轉移，備用。利用冷焰模式及標準模式對樣品進行測試，考察背景等效濃度（BEC）、方法檢出限（D.L.）、加標回收率、精密度。背景等效濃度在0.6ng/L~60.0ng/L之間，方法檢出限在0.3ng/L~88.2ng/L之間，加標回收率在82.1%~120.4%之間，精密度在1.41%~6.92%之間。

結論

        采用ICP-MS 2000測定高純石英砂中13種雜質元素，背景等效濃度在0.6ng/L~60.0ng/L之間，方法檢出限在0.3ng/L~88.2ng/L之間，加標回收率在82.1%~120.4%之間，精密度在1.41%~6.92%之間，滿足石英玻璃行業高純石英砂的測試要求。同時該方法也適用于光伏玻璃、高純二氧化硅、氣相二氧化硅等材料中雜質元素的分析測試。