詳細(xì)介紹
美國派克930 系列隔膜閥這款產(chǎn)品可應(yīng)用:腐蝕性氣體和特種氣體,半導(dǎo)體工具,工具連接,燃?xì)夤瘢y組箱(VMB)。提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
PARKER 930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計(jì),可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留,減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染。可推廣的市場(chǎng):半導(dǎo)體,分析實(shí)驗(yàn)室,制藥,生物制藥,航空航天,工業(yè)。
該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計(jì),控制閥座和隔膜應(yīng)力,以提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成,提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 美國派克930系列隔膜閥面價(jià)。Vericlean™ 是派克專有的UHP級(jí)不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。
派克930系列還提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚醚醚酮樹脂(PEEK®)和聚酰亞胺(Vespel®)材質(zhì)的閥座,可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計(jì)特點(diǎn),給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時(shí)極度的耐腐蝕性和大循環(huán)使用壽命。
派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性,高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生,非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。美國派克930系列隔膜閥面價(jià)歡迎新老客戶前來詢價(jià)比價(jià)。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):
• 電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)
• 高循環(huán)使用壽命(包括耐腐蝕服務(wù))
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計(jì)可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
• 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
• 內(nèi)部泄漏率:≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率:≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅(qū)動(dòng),額定壓力為75 psig
這款氣動(dòng)閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān),用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選,包括930Y系列(Y型閥)和SM930系列(面板安裝)。閥門上內(nèi)部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測(cè)試,以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中,保有其性能和可靠性。