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MKS是zui的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件生產(chǎn)，平板顯示器，光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)，玻璃鍍膜，光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。MKS前瞻性的創(chuàng)新開(kāi)發(fā)，推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于技術(shù)地位。 MKS的電源，測(cè)量，控制和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)，改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率，提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。
美國(guó)MKS流量計(jì),MKS薄膜真空計(jì),MKS閥門(mén),MKS開(kāi)關(guān),MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發(fā)生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,MKS壓力控制閥。
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MKS壓力測(cè)量及控制
薄膜電容式高精度MKS壓力傳感器（溫度控制在45℃）
690A系列
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590A系列
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698A系列
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薄膜電容式高精度MKS壓力傳感器（溫度控制在15-200℃）
61系列
61.1TRC 61.1TRCE 6101TRC 6101TRE 6111TRC 6111TRE 6112TRC 6112TRE 6113TRC 6113TRE 6153TRC 6153TRE 6114TRC 6114TRE 61RBTRC 61RBTRE 6124TRC 6124TRE 61RCTRC 61RCTRE
616A系列
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