MKS壓力傳感器質量流量計是以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應用在半導體行業，鍍膜玻璃，醫藥制藥行業，生物工程行業，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。

MKS壓力傳感器質量流量計 INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美*機儀器MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。美*機儀器MKS INSTRUMENTS在現貨的主要合作伙伴有AMEC、NMC、SMIC、HYNIX等，產品針對300MM半導體市場；而美*機儀器MKS INSTRUMENTS的半導體設備零部件的研發和制造也主要針對300MM半導體工藝要求。同時，美*機儀器MKS INSTRUMENTS還在積極開發太陽能、環境工程和玻璃鍍膜等快速發展的市場。美*機儀器MKS INSTRUMENTS電源、測量、控制和復雜氣體相關的工藝監控技術等改善了設備的完好率和產品成品率，提高了生產產量和產品性能，美*機儀器MKS INSTRUMENTS目前產品主要包括：壓力測量和控制系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控制儀器和閥等提供半導體工藝上、下游壓力控制設備；質量流量控制器測量和控制半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業提供了可靠的固態電源；ASTEXI系列產品提供諸如用于工藝腔清潔的ASTRON氟離子發生器，用于去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用于CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態和LIQUOZON液態臭氧發生器；另外美*機儀器MKS INSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產品、氣體分析儀、靜電控制、控制及信息技術等系列解決方案。
2006年，美*機儀器MKS INSTRUMENTS完成了對ION SYSTEMS、UMETRICS和NOVX的三樁收購，大大擴展了其制程控制產品系列和提升了其市場競爭力。隨著現貨本土半導體產業的迅速發展，國外芯片設備供應商紛紛淘金于現貨大陸，而本土制造廠的崛起也為零配件供應商帶來了更大的契機。在2006年度美*機儀器MKS INSTRUMENTS營業額達到7.83億美元。
MKS壓力傳感器質量流量計型號如下：
120AA-00010RAJ 120AA-00010RBJ 120AA-00010RCJ 120AA-00100RAJ 120AA-00100RBJ 120AA-00100RCJ
120AA-01000RAJ 120AA-01000RBJ 120AA-01000RCJ 120AD-00001RAU 120AD-00001RBU 120AD-00001RCU
120AD-00001RDB 120AD-00001REB 120AD-00010RAU 120AD-00010RBU 120AD-00010RCU 120AD-00010RDB
120AD-00010REB 120AD-00100RAU 120AD-00100RBU 120AD-00100RCU 120AD-00100RDB 120AD-00100REB
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