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詳細介紹
新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計 條紋帶有INFICON*的傳感器護罩，可防止不希望有的過程副產品出現。INFICON條紋采用創新的加熱概念，為觸摸表。
新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計 3CC9-651-2380優點
1.高生產率 - 響應時間超過2ms（FS> 50 mTorr）
2.靈活的集成 - EtherCAT現場總線
3.壽命長 - 經過驗證的陶瓷傳感器
4.忘記重新校準 - 90ppm /年滿量程穩定性
典型應用
1.原子層沉積
2.高速過程控制
3.PVD，CVD，蝕刻
4.一般高溫真空應用
3CC9-651-2380產品規格
| 類型 | 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar | 0.02 ... 0.01Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 準確度（1） | 閱讀的百分比 | 0.15 | - |
| 精確 | 閱讀的百分比 | - | 0.2 |
| 溫度效應 | |||
| 在零... 1000乇/毫巴 | 百分比FS /℃ | 0.0025 | - |
| 零點0.5 ... 0.05 Torr / mbar | 百分比FS /℃ | 0.005 | - |
| 零點0.02 ... 0.01 Torr | 百分比FS /℃ | - | 0.01 |
| 在跨度上 | 讀數百分比/°C | 0.01 | 0.01 |
| 大壓力 | |||
| P大1000Torr / mbar | kPa（絕dui值） | 400 | 400 |
| P大500 ... 1Torr / mbar | kPa（絕dui值） | 260 | 260 |
| P大0.5 ... 0.01Torr / mbar | kPa（絕dui值） | 130 | 130 |
| 解析度 | 百分比FS | 0.003 | 0.003 |
| 低的閱讀 | 百分比FS | 0.01 | 0.01 |
| 低的建議閱讀 | 百分比FS | 0.05 | 0.05 |
| 建議的低控制壓力 | 百分比FS | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | |||
| 操作（環境） | C | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
| 法蘭烘烤 | C | ≤110 | ≤110 |
| 存儲 | C | -20 ... +85 | -20 ... +85 |
| 電源電壓 | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | |
| 能量消耗 | |||
| 在加熱期間 | w ^ | ≤14 | ≤14 |
| 在工作溫度下 | w ^ | ≤9 | ≤9 |
| 輸出信號（模擬） | V（直流） | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
| 響應時間（2） | 女士 | 2 | |
| 防護等級 | IP 30 | IP 30 | |
| 標準 | |||
| CE符合性 | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | |
| ETL認證 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | |
| SEMI合規性 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 電氣連接 | D-sub，15極，男 | D-sub，15極，男 | |
| 設定點 | |||
| 設定點數 | 2（SP1，SP2） | 2（SP1，SP2） | |
| 繼電器接觸 | V（直流） （dc） | ≤30 | ≤30 |
| 滯后 | 百分比FS | 1 | 1 |
| 診斷端口 | |||
| 協議 | USB | USB | |
| 讀 | 壓力，狀態，身fen證 | 壓力，狀態，身fen證 | |
| 組 | 設定點，濾波器，零點調整，出廠重置，DC偏移 | 設定點，濾波器，零點調整，出廠重置，DC偏移 | |
| 材料暴露在真空中 | 氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4）） | 氧化鋁陶瓷（AI 2 O 3），不銹鋼（AISI 316L （4）） | |
| 內部音量 | |||
| I.體積1/2''管 | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.體積DN 16 ISO KF | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.體積DN 16 CF-R | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.第8卷VCR® | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| 重量 | |||
| 重量1/2“管 | G | 837 | 837 |
| 重量DN 16 ISO KF | G | 852 | 852 |
| 重量DN 16 CF-R | G | 875 | 875 |
| 重量8VCR® | G | 897 | 897 |
| EtherCAT的 | |||
| 協議EtherCAT | 于EtherCAT的協議 | 于EtherCAT的協議 | |
| 通信標準 | ETG.5003第1部分“半導體器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空壓力表” | ETG.5003第1部分“半導體器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空壓力表” | |
| 節點地址 | 顯式設備標識 | 顯式設備標識 | |
| 物理層 | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | |
| 數字功能讀取 | 壓力，狀態，身fen證 | 壓力，狀態，身fen證 | |
| 數字功能設置 | 設定點，濾波器，零點調整，復位，DC偏移 | 設定點，濾波器，零點調整，復位，DC偏移 | |
| 處理數據 | 修復了PDO映射和可配置的PDO映射 | 修復了PDO映射和可配置的PDO映射 | |
| （CoE） | SDO請求，響應和信息 | SDO請求，響應和信息 | |
| EtherCAT連接器 | RJ45,8針（插座），IN和OUT | RJ45,8針（插座），IN和OUT | |
| 電纜 | 屏蔽以太網CAT5e或更高 | 屏蔽以太網CAT5e或更高 | |
| 電纜長度 | 米（英尺） | ≤100（330） | ≤100（330） |
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