brooks真空機械手臂MAG 7 F應用于真空集束型機臺的晶圓輸送機械手臂。MagnaTran® 7 Frogleg™ （MAG 7 F） 機械手臂集成了 MagnaTran 產品系列的所有技術優點，實際平均故障周期 （MCBF） 大于 1100 萬次。

brooks真空機械手臂MAG 7 F設計使用了少的移動部件。其直接電磁離合器驅動不具有動態真空密封，這樣便減少了摩擦和磨損，從而減少故障。通過消除步進電機，可以在未接觸邊緣的情況下減小振動，減少顆粒，并實現較高的重復定位精度。 經過現場驗證的一體式電子裝置不僅占據了更小的空間，還降低了對電子干擾的敏感性，從而產生更高的可靠性。 

brooks真空機械手臂MAG 7 F主要特性：
1.能夠承載的晶圓尺寸從300mm的標準件到非標準的襯底
2.具有權的 Frogleg™ 手臂 
3.經過驗證 MCBF 超過 1100 萬次的可靠性
4.具有權的時間you軌跡™
5.Workspace 用戶可編程的機械手臂訪問區
6.晶圓根據外部感應自動居中
7.CE 和 SEMI S2 認證
特色：
1.與xian進的集束型工具兼容
2.具有高通量
3.占用空間小
4.VHV 兼容性
5.較低的擁有成本
6.快的運行速度
7.適用性
8.晶圓和設備安全
9.促進已增加產能的升級
高通量可以通過 Time Optimal Trajectory™ 算法來實現，該算法可使輸送速度比 S 曲線剖面快 15-30％。持續轉動性能排除了運動 180 度以上和直驅式伺服的需要，通過 Brooks 的專有 DSP 控制器可以大限度地減小振動。
Workspace 用戶可編程訪問區可防止手動操作期間可能發生的碰撞，從而確保高價值晶圓和加工設備的安全。通過調制解調器連接的遠程服務終端上的圖形界面可以完成全面診斷。先前事件的錯誤日志帶有時間和日期戳。循環計數器位于非易失性存儲器中，并以圖形方式對關鍵的性能特征進行監控。多傳感器接口連接通過允許接口直接連接到基板傳感器和其他外設模塊（如閥門）的高速數字 PIO 完成。實時信息允許通過運動組件的邊緣檢測來進行位置引用。為了安全起見，可能在宏序列中引用晶圓。