日立高新超高分辨場發射掃描電子顯微鏡SU8000系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）提供不同的樣品臺，樣品室以及信號探測系統，滿足用戶對超高分辨率顯微鏡的特定需要。

SU8010技術特點：

1. 低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品

3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像

4. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能

5. 標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

6. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成

主要技術指標：

① 低加速電壓，高分辨率

② 減輕荷電影響的SE/BSE信號可變功能

③ SU8000系列的通用控制系統GUI

④ 配備了STEM功能附件

功能附件：

① X-射線能量色散譜儀，簡稱能譜儀(EDS)，探測元素范圍Be4-U92

② 掃描透射電子顯微鏡探頭，即STEM，檢測樣品的透射像

③ 離子濺射儀，可噴Au、噴Pt，用于樣品導電處理