標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [4型]
CRYO-U4H
特點(diǎn)
- 輕量、緊湊，在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。
- 適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。
- 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
- 可以多臺(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。
- 可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。
- 日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?
外形尺寸 (單位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?
| 排気速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 750 |
| 氫氣 | 1,100 | ||
| 氬氣 | 620 | ||
| 水 | 2,100 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 氫氣 | 1.1×102(0.8) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 氫氣 | 3.1×105(2.3×103) | ||
| 冷卻下降時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 80/70(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-150,UFC-203 | ||
| 壓縮機(jī) | C10, C10AT, C10ES | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 19 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
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