G-TRAN系列 SAU壓力傳感器單元
大氣壓近旁(離子規(guī)壓力:-100kPa~10kPa)可以進(jìn)行高精度測(cè)量的采用半導(dǎo)體型薄膜素子的壓力傳感器單元。為了可以對(duì)應(yīng)高真空條件下的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的材質(zhì),采用了SUS316L。
特點(diǎn)
愛(ài)發(fā)科真空計(jì)G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元?
- 理想大氣壓的確認(rèn)
壓力基準(zhǔn)是使用離子規(guī)對(duì)應(yīng),可以進(jìn)行高精度大氣壓測(cè)量 - 為了對(duì)應(yīng)高真空的連續(xù)使用
采用了半導(dǎo)體型薄膜素子(SUS316L),可以對(duì)應(yīng)高真空連續(xù)使用 - 測(cè)定值輸出信
壓力在標(biāo)準(zhǔn)裝備下輸出DC 0~5V的Log - 驅(qū)動(dòng)電源
對(duì)應(yīng)范圍廣DC12~24V - 弧齒耦合器相互對(duì)應(yīng)
端口,采用NW16
用途
愛(ài)發(fā)科真空計(jì)G-TRAN系列SAU 壓力傳感器單元
- 以太陽(yáng)能電池,F(xiàn)PD,半導(dǎo)體,電子部品為主的各種高真空裝置的大氣壓確認(rèn)用
- 以真空爐為主的各種產(chǎn)業(yè)用真空裝置的大氣壓確認(rèn)用
- 離子規(guī)壓力:-100kPa~10kPa(壓力:10+4~10+5Pa)情況下高精度測(cè)量真空裝置用