當前位置:北京中慧天誠科技有限公司>>技術文章>>紅寶石三探針頭指南
一、特點
1、 使用幾何尺寸%,的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準確。
2、 控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大于6μm,,探針的小游移率。
3、 采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有%立、準確的壓力。
4、 量具精度的硬質合金探針,在寶石導孔內穩定運動,持久耐磨。
二、用途
1、 測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻。
2、 測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。
三、探針間距
1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、 方形四探針…………… 1.00mm
3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
四、,指標
1、 游移率
B,…………… <0.5%
A,……………<0.3%
AA,………… <0.2%
AAA,…………<0.1%
2、 間距偏差
B,…………… <3%
A,…………… <2%
AA,………… <2%
AAA,………… <1%
3、 ,針與導孔間隙:0.006mm
4、 探針材料:硬質合金(主成份:進口碳化鎢)或高速鋼
5、 探針壓力 標準壓力:6—10N(4根針總壓力)小壓力:1.2—5N(4根針總壓力) 1牛頓(N)=101.97克
6、 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層)
7、 500V,緣電阻:>1000MΩ
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