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極紫外 (EUV) 球面反射鏡
  • 極紫外 (EUV) 球面反射鏡
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 無錫市
屬性

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更新時(shí)間:2023-12-20 10:59:39瀏覽次數(shù):4930評價(jià)

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組件類別 光學(xué)元件
極紫外 (EUV) 球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計(jì),并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS,可大程度地降低散射。這對 EUV 波長*,因?yàn)?EUV 波長的散射比長波長更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄,約為 0.5nm,確保只會在高諧波生成 (HHG) 應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。

極紫外 (EUV) 球面反射鏡

超拋光基片上的/硅多層鍍膜

13.5nm 下可實(shí)現(xiàn)的大反射

設(shè)計(jì)用于 EUV 光束聚焦應(yīng)用

適用于 HHG 應(yīng)用的窄通帶

極紫外 (EUV) 球面反射鏡 具有多層鉬/硅鍍膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設(shè)計(jì),并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS,可大程度地降低散射。這對 EUV 波長*,因?yàn)?EUV 波長的散射比長波長更多. EUV 球面反射鏡的通帶非常窄,約為 0.5nm,確保只會在高諧波生成 (HHG) 應(yīng)用中反射 13.5nm 的關(guān)注諧波。EUV  球面反射鏡的典型應(yīng)用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 納米加工.

注意:
每個(gè)反射鏡均附運(yùn)行樣本的測試數(shù)據(jù).

極紫外 (EUV) 球面反射鏡產(chǎn)品信息

DWL (nm)Dia. (mm)EFL (mm)涂層涂層規(guī)格產(chǎn)品編碼
13.525.40250.00Mo/Si Multilayer
Layer: Silicon
Rabs>60% @ 13.5nm#11-730

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