當前位置:那諾中國有限公司>>清洗去膠系統>>單晶圓/掩模版兆聲清洗機>> SWC系列/LSC系列硅片清洗機
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子,制藥 |
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硅片清洗機概述:兆聲和清洗技術的發展,對MEMS和半導體等領域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平,可以幫助用戶獲得干凈的晶圓片和掩模版。
NANO-MASTER提供兆聲單晶圓&掩模清洗(SWC)系統,用于*進的無損兆聲清洗??梢赃m用于易受損的帶圖案或無圖案的基片,包含帶保護膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達到優化的清洗效果,兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。NANO-MASTER的技術確保了聲波能量均勻分布到整個基片表面,通過分布能量的z大化支持z理想的清洗,同時保證在樣片的損傷閾值范圍內。
SWC系統提供了可控的化學試劑滴膠能力,這使得顆粒從基片表面的去除能力得以進一步加強。SWC和LSC具備對點試劑滴膠系統,可以*節省化學試劑的用量的。滴膠系統支持可編程的化學試劑混合能力,提供了可控的化學試劑在整個基片上的分布。
硅片清洗機應用:
硅片清洗機選配項:
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